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鈦靶、高純靶、鈦鈮靶、鋯靶、鎳靶、鉻靶等主要應用

發布時間: 2017-10-20 15:26:22    瀏覽次數:

簡單說的話,鋯靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料。有金屬類、合金類、氧化物類等等。例如:蒸發磁控濺射鍍膜是加熱蒸發鍍膜...鋁膜等。更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鉻、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。 

主要應用在: 

1、微電子領域 

2、平面顯示器用靶材 

3、存儲技術用靶材等

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